盐城日泰氢气纯化装置（电加热管，防爆电加热器）属于干燥塔防爆电加热器气体纯化装置技术领域。
背景技术：
2.随着集成电路等行业的高速发展，在集成电路成品制作工艺过程中对使用气体纯度的要求越来越高，杂质要求小于1ppb。目前的氢气纯化技术多采用前端催化后端干燥吸附的技术，前端催化工艺可使杂质反应生成二氧化碳和水，后端深度吸附工艺吸附脱除二氧化碳和水等杂质。此技术虽然在一定程度上脱除杂质烃类、一氧化碳、二氧化碳和水，但脱除深度已经不能满足生产使用需求，为此针对上述问题，设计一种氢气纯化装置很有必要。
技术实现要素：
3.对上述背景技术所提及的技术问题，而采用以下技术方案来实现：
4.氢气纯化装置，包括罐体，所述罐体的内部设有纯化罐，所述罐体的内部还设有换热器，所述纯化罐的底部通过导管与换热器相连通，且所述导管的一端与气动隔膜阀相连通，所述气动隔膜阀的另一端连通有进气管，所述纯化罐的顶部连通有第二导管，所述第二导管与换热器相连通，并所述第二导管的一端连通有第三气动隔膜阀。
5.作为优选实例，所述罐体包括内筒和外壳，所述内筒套设在外壳内，所述外壳与内筒二者之间设有空隙，所述内筒的外侧壁上连通有第三导管，所述第三导管的一端贯穿空隙和外壳，并连通有手动阀，器贯穿空隙和外壳的第三导管的端部分别连通有两个第四导管，其中一个所述第四导管上安装有第二手动阀，另一个所述第四导管上安装有液位表，两个所述第四导
